薄物ワーク研磨用冶具キャリア
”開発製品 パートUキャリアご案内”
実用新案登録証認可
(CERTIFICATE OF UTILITY MODEL REGISTRAYTION)
登録第3086591号
(REGISTRATION NUMBER)
デジタル化商品開発の新時代を迎え、最近のIT産業関連の進歩、特に機器、部品は益々小型化、薄型化、軽量化
されようとしています。研磨盤メーカーも薄型化対応の機械開発が急ピッチで進められています。
キャリアパートUは現在市場で使用されている金属、樹脂キャリアを構成上強化した薄物対応を狙った
高性能な新製品です。特に極薄研磨の問題点であったスクラッチ(キズ)、チッピング(欠け)、
クラック(割れ)を防護し歩留り効果を高めライフサイクルを向上させます。
キャリア母体 ワーク保持材
ラップ用 SK エポキシガラス・不織布
ポリッシング用 SUS-HD + アラミド繊維 ・ポリエステル繊維・ウレタン
熱可塑性樹脂
図2
Z
〜図2の説明〜
B部に段差を1-a,1-b,1-cで
金属キャリアと完全圧着させ
P樹脂のワーク保持具を作った。
用途:半導体関連ウエハー・化合物半導体ウエハー・水晶基盤ウエハー
ガラス・アルミディスク・液晶ガラス・セラミック
厚み:0.1 ・ 0.12 ・ 0.13 ・ 0.15 ・ 0.18
・ 0.2 ・ 0.25 ・ 0.3
0.35・ 0.40 ・
0.45 ・ 0.50 ・ 0.55 ・ 0.60
機種範囲:5B〜20B
研磨冶具 キャリヤ プレート類
材質、 厚み別 御紹介
◎印 他社にはないサイズ *機種は3B〜46B 52B
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PVC |
E G |
布ベーク |
テトロン |
ポリカ |
PU-SUS(ワーク保護付) ハーフエッチンク |
SKエッチング |
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0.1 |
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○ |
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0.1 |
製作範囲18Bまで |
9Bまで |
0.2 |
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○ |
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|
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0.12 |
14Bまで |
9Bまで |
0.3 |
|
○ |
|
|
|
0.13 |
12Bまで |
9Bまで |
0.4 |
○ |
|
|
|
0.15 |
18Bまで |
9Bまで |
|
0.5 |
○ |
○ |
○ |
|
○ |
0.18 |
18Bまで |
9Bまで |
0.6 |
○ |
○ |
○ |
0.20 |
18Bまで |
9Bまで |
||
0.7 |
○ |
0.25 |
18Bまで |
18Bまで |
||||
0.8 |
○ |
○ |
○ |
○ |
0.35 |
18Bまで |
18Bまで |
|
0.9 |
○ |
0.40 |
18Bまで |
18Bまで |
||||
1.0 |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
0.45 |
12Bまで |
18Bまで |
1.2 |
○ |
○ |
○ |
0.50 |
18Bまで |
18Bまで |
||
1.5 |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
0.60 |
18Bまで |
18Bまで |
1.6 |
○ |
○ |
○ |
|
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|||
1.8 |
◎ |
○ |
○ |
○ |
|
|
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2.0 |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
エッチングにはパターンが必要 |
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2.5 |
◎ |
○ |
○ |
○ |
|
|
||
3.0 |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
|
|
|
4.0 |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
|
|
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5.50 |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
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お問合せ先
TEL
03-3852-1531
FAX
03-3852 1680
滝 井 達 也