薄物ワーク研磨用冶具キャリア

”開発製品 パートUキャリアご案内”

実用新案登録証認可
(CERTIFICATE OF UTILITY MODEL REGISTRAYTION)

登録第3086591号
(REGISTRATION NUMBER)


  デジタル化商品開発の新時代を迎え、最近のIT産業関連の進歩、特に機器、部品は益々小型化、薄型化、軽量化
  されようとしています。研磨盤メーカーも薄型化対応の機械開発が急ピッチで進められています。
 
キャリアパートUは現在市場で使用されている金属、樹脂キャリアを構成上強化した薄物対応を狙った
  高性能な新製品です。特に極薄研磨の問題点であったスクラッチ(キズ)、チッピング(欠け)、
 クラック(割れ)
を防護し歩留り効果を高めライフサイクルを向上させます。

  

           キャリア母体                                ワーク保持材

      ラップ用        SK                       エポキシガラス・不織布
      ポリッシング用    SUS-HD              アラミド繊維 ・ポリエステル繊維・ウレタン
                                                    熱可塑性樹脂



                                              
                      Z
            

                                          〜図2の説明〜
                                   B部に段差を1-a,1-b,1-cで
                                   金属キャリアと完全圧着させ
                                   P樹脂のワーク保持具を作った。


                                                                                         

                                                                                                               

               用途:半導体関連ウエハー・化合物半導体ウエハー・水晶基盤ウエハー
             ガラス・アルミディスク・液晶ガラス・セラミック


              厚み:0.1 ・ 0.12 ・ 0.13 ・ 0.15 ・ 0.18 ・ 0.2 ・ 0.25 ・ 0.3
             0.35・ 0.40 ・ 0.45 ・ 0.50 ・ 0.55 ・ 0.60     

               機種範囲:5B〜20B


 研磨冶具 キャリヤ プレート類 

    材質、 厚み別 御紹介                                  

 他社にはないサイズ           *機種は3B〜46B 52B

PVC

E G 

ベーク

テトロン

ポリカ

PU-SUS(ワーク保護付)

ハーフエッチンク

SKエッチング

0.1

0.1

製作範囲18Bまで

9Bまで

0.2

0.12

    14Bまで

9Bまで 

0.3

0.13

    12Bまで

9Bまで

0.4

0.15

    18Bまで

9Bまで 

0.5

0.18

    18Bまで

9Bまで

0.6

0.20

    18Bまで

9Bまで 

0.7

0.25

    18Bまで

18Bまで

0.8

0.35

    18Bまで

18Bまで

0.9

0.40

    18Bまで

18Bまで

1.0

0.45

    12Bまで

18Bまで

1.2

0.50

    18Bまで

18Bまで

1.5

0.60

    18Bまで

18Bまで

1.6

1.8

2.0

エッチングにはパターンが必要

2.5

3.0

4.0

5.50


                                                       お問合せ先 
                                         TEL 03-3852-1531
                                         FAX 03-3852 1680

                                            滝 井 達 也